| 发明名称 |
THERMAL DISPLACEMENT ELEMENT AND RADIATION DETECTOR USING THE ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1227307(A4) |
申请公布日期 |
2004.03.03 |
| 申请号 |
EP20010961319 |
申请日期 |
2001.09.03 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
ISHIZUYA, TOHRU;SUZUKI, JUNJI |
| 分类号 |
G01J1/02;B81B3/00;G01J5/40;G01J5/48;H01L27/148;(IPC1-7):G01J5/40 |
主分类号 |
G01J1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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