发明名称 |
COMPOSITION DE RESERVE POUR POSITIF DU TYPE A AMPLIFICATION CHIMIQUE. |
摘要 |
Composition de réserve pour positif du type à amplification chimique comprenant une résine qui comporte une unité de polymérisation provenant de p-hydroxystyrène et une unité de polymérisation comportant un groupe instable vis-à-vis des acides, un agent générateur d'acide et un composé représenté par la formule (l) suivante : dans laquelle R1 et R2 représentent chacun indépendamment un groupe alkyle comportant 1 à 15 atomes de carbone ,un groupe alkyle comportant 1 à 8 atomes de carbone dans lequel au moins 3 atomes d'hydrogène sont substitués par des atomes de fluor, ou un groupe aryle comportant 6 à 10 atomes de carbone.
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申请公布号 |
BE1014725(A3) |
申请公布日期 |
2004.03.02 |
申请号 |
BE20020000216 |
申请日期 |
2002.03.26 |
申请人 |
SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED;ICHIMURA KUNIHIRO, |
发明人 |
ICHIMURA KUNIHIRO;OKUDAIRA TSUGIO;SUETSUGU MASUMI;UETANI YASUNORI;NAMBA KATSUHIKO |
分类号 |
G03F7/039;C08F212/14;C08F220/12;G03F7/004;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/039 |
主分类号 |
G03F7/039 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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