发明名称 COMPOSITION DE RESERVE POUR POSITIF DU TYPE A AMPLIFICATION CHIMIQUE.
摘要 Composition de réserve pour positif du type à amplification chimique comprenant une résine qui comporte une unité de polymérisation provenant de p-hydroxystyrène et une unité de polymérisation comportant un groupe instable vis-à-vis des acides, un agent générateur d'acide et un composé représenté par la formule (l) suivante : dans laquelle R1 et R2 représentent chacun indépendamment un groupe alkyle comportant 1 à 15 atomes de carbone ,un groupe alkyle comportant 1 à 8 atomes de carbone dans lequel au moins 3 atomes d'hydrogène sont substitués par des atomes de fluor, ou un groupe aryle comportant 6 à 10 atomes de carbone.
申请公布号 BE1014725(A3) 申请公布日期 2004.03.02
申请号 BE20020000216 申请日期 2002.03.26
申请人 SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED;ICHIMURA KUNIHIRO, 发明人 ICHIMURA KUNIHIRO;OKUDAIRA TSUGIO;SUETSUGU MASUMI;UETANI YASUNORI;NAMBA KATSUHIKO
分类号 G03F7/039;C08F212/14;C08F220/12;G03F7/004;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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