具备挡板之电浆产生装置

摘要

本发明揭示一种具备挡板之电浆产生装置或电浆蚀刻装置，其设置于电浆产生处理室内，用以限制电浆产生的空间，以防止在电浆工序时之电浆泄漏，且该挡板上具有复数个槽孔，便于进行排气气体、副产物、及异物的排放；该复数个槽孔分别由上述挡板内缘附近向外缘呈曲线状而延伸，能够有效率且迅速地排出在电浆工序时发生的排气及副产物等，如此一来电浆工序更容易进行，且由于排气量会增加，因此可使用更多的处理气体类。