发明名称 耐酸铜电化学沉积浴中添加剂浓度之测定方法
摘要 本发明系关于一种测定包含于水性酸金属电镀溶液中之亮光剂及匀涂剂浓度之方法,其经由先在第一组测量条件下测定亮光剂之浓度,其次再在第二组测量条件下测定匀涂剂之浓度,而使亮光剂之效果与匀涂剂之效果之间之干扰减至最小,其限制条件为第一组测量条件与第二组测量条件之不同处在于:(1)使用于测量该水性酸金属电镀溶液之电镀位能之旋转碟电极的旋转速度,或(2)测量该水性酸金属电镀溶液之电镀位能的电镀期间,其中第一组测量条件之旋转速度较第二组测量条件之旋转速度低,且第一组测量条件之电镀期间较第二组测量条件之电镀期间短。第一组测量条件之旋转速度系大约自约每分钟0转至约每分钟4000转,而第二组测量条件之旋转速度系大约自约每分钟300转至约每分钟1250转。第一组测量条件之电镀期间系大约自约1秒至约20秒,且第二组测量条件之电镀期间系大约自约1秒至约25秒。
申请公布号 TW200403359 申请公布日期 2004.03.01
申请号 TW092115960 申请日期 2003.06.12
申请人 尖端科技材料公司 发明人 韩剑文;罗尼 M 艾特曼;彼得 M 罗伯森;理察 贝拉;大卫 普莱斯
分类号 C25D3/00 主分类号 C25D3/00
代理机构 代理人 赖经臣;宿希成
主权项
地址 美国
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