| 主权项 |
1.一种用以扩展雷射光束之系统,包含:一水平反射多工器;及一垂直反射多工器;其中,水平反射多工器沿一第一幅度上复制输入光束,以形成一第一多工光束,及垂直反射多工器沿一第二幅度上复制第一多工光束,以形成一第二多工光束。2.如申请专利范围第1项所述之系统,其中,第一幅度及第二幅度沿各别第一及第二方向上延伸,第一及第二方向偏置约90度之一角度。3.如申请专利范围第1项所述之系统,其中,水平反射多工器沿第一幅度上复制输入光束五次,以形成第一多工光束。4.如申请专利范围第3项所述之系统,其中,垂直反射多工器沿第二幅度上复制输入光束四次,以形成第二多工光束。5.如申请专利范围第1项所述之系统,其中,水平反射多工器包含:一第一光束分裂器;一第二光束分裂器;及一镜,其中,第二光束分裂器安排于第一光束分裂器及镜之间。6.如申请专利范围第5项所述之系统,其中,第一光束分裂器,第二光束分裂器,及镜相互偏置,俾第一光束分裂器分裂输入光束为透射之第一光束部份及反射之第二光束部份,第二光束分裂器分裂反射之第二光束部份为反射之第三光束部份及透射之第四光束部份,及镜反射透射之第四部份,俾第一多工光束包含三补片,由透射之第一光束部份,反射之第三光束部份,及透射之第四光束部份构成。7.如申请专利范围第5项所述之系统,其中,第一光束分裂器,第二光束分裂器,及镜相互偏置,俾第一光束分裂器分裂输入光束为透射之第一光束部份及反射之第二光束部份,第二光束分裂器分裂反射之第二光束部份为反射之第三光束部份及透射之第四光束部份,及该镜反射透射之第四光束部份回至第二光束分裂器,及其中,第二光束分裂器再分裂透射之第四光束部份为一第五透射光束部份及一第六反射光束部份,及该镜反射反射之第六光束部份回至第二光束分裂器;及其中,第二光束分裂器再分裂反射之第六光束部份为一透射之第七部份及一反射之第八部份,及镜反射反射之第八光束部份,俾第一多工光束包含五补片,由透射之第一光束部份,反射之第三光束部份,透射之第五光束部份,透射之第七光束部份,及反射之第八光束部份构成。8.如申请专利范围第1项所述之系统,其中,垂直反射多工器包含:一第三光束分裂器;及一镜,与第三光束分裂器相对安排,俾第一多工光束由第三光束分裂器分裂为透射及反射之光束部份,及反射之光束部份由镜反射;及其中,第二多工光束由透射通过第三光束分裂器之透射之光束部份及由镜反射之一反射光束部份构成。9.如申请专利范围第8项所述之系统,其中,第一多工光束由第三光束分裂器分裂为三透射之光束部份及三反射之光束部份,及三反射之光束部份由镜反射;及其中,第二多工光束包含四区,由透射通过第三光束分裂器之三透射之光束部份及由镜反射之三反射之光束部份之一构成。10.如申请专利范围第1项所述之系统,其中,第二多工光束包含胞区,且另包含:一光学副系统,此再制第二多工光束之胞区之影像,以重叠并形成一输出光束。11.如申请专利范围第1项所述之系统,其中,该光学副系统包含一微透镜行列或一绕射光学元件。12.如申请专利范围第1项所述之系统,其中,输入光束具有一输入足印约为2.5mm30mm,第一多工光束具有一1-d多工足印约为12.5mm30mm;及第二多工光束具有一2-d多工足印约为12.5mm120mm。13.一种用以照射制版工具中之膜板之照射系统,包含:一水平反射多工器;及一垂直反射多工器;其中,水平反射多工器沿第一幅度上复制输入光束,以形成一第一多工光束;及垂直反射多工器沿一第二幅度上复制第一多工光束,以形成一第二多工光束,此沿光轴向膜板发射。14.如申请专利范围第13项所述之照射系统,其中,第二多工光束包含胞区,且另包含:一光学副系统,此再制第二多工光束之胞区之影像,以重叠并形成一输出光束,输出光束具有区域,此覆盖照射系统之照射场。15.如申请专利范围第13项所述之照射系统,另包含:一变形光束扩展器,此接收由雷射光源所发射之光,并对所接收之光整形,及形成输入光束。16.一种用以扩展输入雷射光束之方法,包括:(i)第一沿一第一幅度上复制输入雷射光束,以形成一第一多工光束,具有第一扩展足印;及(ii)第二沿一第二幅度上复制第一多工光束,以形成一第二多工光束,具有第二扩展足印。17.如申请专利范围第16项所述之方法,其中,第一复制步骤包含分裂及反射输入雷射光束中之光多次,以形成第一多工光束中之多个补片。18.如申请专利范围第17项所述之方法,其中,第二复制步骤包含分裂及反射第一多工光束中之光多次,以形成第二多工光束中之多个区。19.如申请专利范围第16项所述之方法,另包括:再制第二多工光束之胞区之影像,以重叠并形成一输出光束。20.如申请专利范围第19项所述之方法,另包括由输出光束照射膜板。图式简单说明:图1 为本发明之一实施例之制版系统。图2 显示本发明之一实施例之图1之照射系统。图3A 显示本发明之一实施例之水平反射多工器之作用。图3B 为本发明之一实施例之水平反射多工器之透视图。图4 显示本发明之一实施例之垂直反射多工器之作用。图5 为用以扩展雷射光束之本发明方法之流程图。 |
