发明名称 用于纯化制程之密封治具
摘要 一种用于纯化制程之密封治具,系包含有一本体、一封盖、一过滤层及一固定装置。其中该本体与该封盖保能组合在一起形成一密闭的容器,而该过滤层系至少与该容器及该封盖之一结合,用以供纯化时的气体通过,而固定装置则是设在该本体与该封盖之间,用以限制该封盖与该本体的相对位移,据此可用于高压及高温的制程中以提高产率。伍、(一)、本案代表图为:第____1____图(二)、本案代表图之元件代表符号简单说明:(10)本体(12)取放开口(20)封盖 (30)过滤层(40)固定装置 (42)勾杆(44)卡杆 (46)勾部
申请公布号 TW579070 申请公布日期 2004.03.01
申请号 TW092206036 申请日期 2003.01.21
申请人 禄加光电科技股份有限公司 发明人 庄晃宇;邱耀民;孙嘉聪;许朝荣;伍俊彰
分类号 H01L23/02 主分类号 H01L23/02
代理机构 代理人
主权项 1.一种用于纯化制程之密封治具,系使未纯化的材料于该治具内受热后所产生的气体能够透出予以收集,该治具包含有:一本体,其内部中空供未纯化的材料放置,且具有一与该内部连通之取放开口,一封盖,系用以组设在该本体的取放开口上;一过滤层,系至少设置在该本体与该封盖之一的表面上,且能使本体内部所产生的气体透出;以及至少一个固定装置,其能与该封盖及本体结合,且于该封盖脱离该本体的方向上产生限制作用。2.如申请专利范围第1项所述之用于纯化制程之密封治具,其中该固定装置系由勾杆及卡杆所组成,其中该勾杆一端固设在本体上,且该勾杆的勾部弯折朝向本体中心,而卡杆的一端固定在封盖上。3.如申请专利范围第1项所述之用于纯化制程之密封治具,其中该固定装置系由制设在该本体之取放开口及封盖上的内、外螺纹所构成。4.如申请专利范围第1项所述之用于纯化制程之密封治具,其中该固定装置系能够用以扣持该本体与该封盖之扣具。5.如申请专利范围第1项所述之用于纯化制程之密封治具,其中该固定装置系由设在本体与封盖上的锁耳所构成。图式简单说明:第一图:系本创作之分解图。第二图:系本创作之组合剖面示意图。第三图:系本创作另一实施例示意图。第四图:系本创作又一实施例示意图。第五图:系本创作再一实施例示意图。
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