具警示用之酸槽加热装置

摘要

本发明揭露一种具警示作用的一酸槽加热装置。本装置至少包含一第一套管用来包覆一金属加热装置；一第二套管用以包覆第一套管并在第二套管内注入一警示溶液；以及一电源供应装置，此电源供应装置系与金属加热装置连接并用以提供一电源给金属加热装置。本装置除了可避免金属离子因套管破裂而污染电子元件。当与酸槽接触之套管破裂时更可由警示液与酸液反应的变化轻易得知迅速更换套管。代表图：第二图代表图之元件符号说明10 第一套管20 金属加热装置30 电源供应装置40 第二套管42 第二套管开口，警示液注入口50 警示液

主权项

1.一种具警示作用的酸槽加热装置,该具有警示作用的酸槽加热装置包括:一第一套管包覆一金属加热装置;一第二套管用以包覆该第一套管,其中该第二套管内被注入一警示溶液;以及一电源供应装置,该电源供应装置系与该金属加热装置连接并用以提供一电源给该金属加热装置。2.如申请专利范围第1项之具有警示作用的酸槽加热装置,其中上述之第一套管的材质系为石英。3.如申请专利范围第1项之具有警示作用的酸槽加热装置,其中上述之金属加热装置系为一金属线圈。4.如申请专利范围第3项之具有警示作用的酸槽加热装置,其中上述之金属线圈的材质系为镍/铬金属。5.如申请专利范围第1项之具有警示作用的酸槽加热装置,其中上述之第二套管的材质系为石英。6.如申请专利范围第1项之具有警示作用的酸槽加热装置,其中上述之第二套管更包含一开口用以注入该警示液。7.如申请专利范围第1项之具有警示作用的酸槽加热装置,其中上述之警示液系为一含氯(Cl-)溶液。8.如申请专利范围第1项之具有警示作用的酸槽加热装置,其中上述之警示液系为一含铵(NH4+)溶液。9.一种具警示作用的酸槽加热装置,该具有警示作用的酸槽加热装置包括:一第一石英管包覆一金属加热线圈;一第二石英管用以包覆该第一石英管,其中该第二石英管系包含一开口用以注入一警示溶液;以及一电源供应装置,该电源供应装置系与该金属加热线圈连接并用以提供一电源给该金属加热线圈。10.如申请专利范围第9项之具有警示作用的酸槽加热装置,其中上述之金属加热线圈的材质系为镍/铬金属。11.如申请专利范围第9项之具有警示作用的酸槽加热装置,其中上述之警示液系为一含氯(C1-)溶液。12.如申请专利范围第9项之具有警示作用的酸槽加热装置,其中上述之警示液系为一含铵(NH4+)溶液。13.一种具警示作用的酸槽加热装置,该具有警示作用的酸槽加热装置包括:一石英双层套管系由一第一石英管包覆一第二石英管组成,其中该第一石英管内系包覆一金属加热线圈,该第二石英管系注入一警示液;以及一电源供应装置,该电源供应装置系与该金属加热线圈连接并用以提供一电源给该金属加热线圈。14.如申请专利范围第13项之具有警示作用的酸槽加热装置,其中上述之金属加热线圈的材质系为镍/铬金。15.如申请专利范围第13项之具有警示作用的酸槽加热装置,其中上述之警示液系为一含氯(C1-)溶液。16.如申请专利范围第13项之具有警示作用的酸槽加热装置,其中上述之警示液系为一含铵(NH4+)溶液。图式简单说明:第一图为习用之半导体制程中所使用之酸槽加热装置之示意图;以及第二图为系根据本发明的具警示作用的酸槽加热装置之示意图。