| 主权项 |
1.一种光学元件,具有波长选择性,其特征为包含: 透镜阵列(12),具有一端面,及配置于该一端面的多 个透镜(L1~L8);及 多层膜滤光器(13),在该透镜阵列之一端面(14)形成, 包含交互堆叠之高折射率介质层和低折射率介质 层,而且其膜厚按照该各透镜之各自之位置连续变 化。2.如申请专利范围第1项之光学元件,其中,该 多个透镜自该透镜阵列之一端面之第一端往第二 端排成一行,该多层膜滤光器之膜厚自该第一端往 第二端直线变化。3.如申请专利范围第1或2项之光 学元件,其中,该透镜阵列系包含多个柱状GRIN透镜 之柱状GRIN透镜阵列。4.如申请专利范围第1或2项 之光学元件,其中,该透镜阵列系为折射率分布型 平板微透镜(50.60),包含一片基板 (59.69)和在该基板 上形成一行之多个微透镜(51~56.61~66)。5.如申请专 利范围第4项之光学元件,其中,该多个微透镜(61~66) 自该基板突出。6.如申请专利范围第1或第2项中任 一项之光学元件,其中: 该透镜阵列具有和该一端面相向之另一端面(24); 该光学元件还具备发光装置(30),此发光装置(30)系 在该另一端面形成,经由该透镜阵列之各透镜向该 多层膜滤光器射出光。7.如申请专利范围第6项之 光学元件,其中,该发光装置系和该透镜阵列一体 。8.如申请专利范围第6项之光学元件,其中,该发 光装置包含和该透镜阵列之各透镜对应设置之多 个光源(LD1~LD8)。9.如申请专利范围第1或第2项中任 一项之光学元件,其中: 该透镜阵列具有和该一端面相向之另一端面(24); 该光学元件还具备多个感光元件(PD1~PD8),该等感光 元件(PD1~PD8)在该另一端面形成,经由该透镜阵列之 各透镜各自接收藉着利用该多层膜滤光器将入射 光分离所得到之中心波长不同之多种光信号。10. 如申请专利范围第9项之光学元件,其中,该多个感 光元件和该透镜阵列系一体。11.一种光学元件之 制造方法,系具有波长选择性之光学元件之制造方 法,其特征为具备: 准备透镜阵列(12)之制程,该透镜阵列(12)具有一端 面及配置于该一端面的多个透镜(L1~L8);及 多层膜滤光器形成制程,按照物理性气相沈积法, 在该透镜阵列之一端面直接形成其膜厚按照该多 个透镜之各自之位置连续变化之多层膜滤光器。 12.如申请专利范围第11项之光学元件之制造方法, 其中,还具备在该多层膜滤光器之形成制程之前, 将透镜阵列配置成使该透镜阵列之一端面相对于 蒸发源或靶倾斜之制程。13.如申请专利范围第12 项之光学元件之制造方法,其中,还具备在该多层 膜滤光器形成制程之前,于该透镜阵列和蒸发源或 靶之间配置具有大致梯形形状之开口部(71)之膜厚 修正板(70)之制程。图式简单说明: 图1系以往之光学元件之概略之连接图。 图2系本发明之实施例1之光学元件之概略之剖面 图。 图3系在图2之光学元件之制造使用之成膜装置之 概略立体图。 图4系图2之光学元件之柱状GRIN透镜阵列之概略之 立体图。 图5系表示图2之光学元件之多层膜滤光器之特性 之图形。 图6系表示对于图4之柱状GRIN透镜阵列之多层膜滤 光器之中心波长之变化之图形。 图7系本发明之实施例2之光学元件之概略之剖面 图。 图8系本发明之实施例3之光学元件之概略之剖面 图。 图9系本发明之实施例4之光学元件之概略之剖面 图。 图10系图9之光学元件之平板微透镜之概略之立体 图。 图11系图9之光学元件之平板微透镜之别的形态之 概略之立体图。 图12系膜厚修正板之概略之立体图。 图13系图9之光学元件之平板微透镜之别的形态之 概略之立体图。 |
