发明名称 改善对材料表面作定性分析之方法
摘要 本发明系有关于一种改善对材料表面作定性分析之方法,系利用摩擦力显微镜(Friction Force Microscopy,FFM)是藉着读取探针的侧向力,来判断探针与表面间摩擦力的大小,然后由摩擦力的分布来判断表面材料分部、微结构等等各种资讯;本方法在于解决当摩擦力显微镜用来对表面材料做定性分析时会受到表面形貌的影响,去除形貌的摩擦力变化,藉此突显出材料对于摩擦力的效应,在我们做表面材料的定性分析上有正面的帮助。
申请公布号 TW577980 申请公布日期 2004.03.01
申请号 TW092108513 申请日期 2003.04.14
申请人 林仁辉 发明人 林仁辉;陈冠维;张宪彰
分类号 G01N13/10;H01J49/00 主分类号 G01N13/10
代理机构 代理人 陈金铃 台南市安平区建平五街一二二号
主权项 1.一种改善对材料表面作定性分析之方法,其步骤 为: (1)得到形貌与摩擦力资料,分为线上撷取与扫描完 成之后并输出; (2)线上撷取之资料,每一条扫描线设为一个矩阵; 扫描完成后之输出,则依扫描的条数与每条扫描线 的撷取点数制成一矩阵; (3)将形貌矩阵以平行扫描方向取其梯度; (4)利用条数与系数(-G),G为梯度矩阵,回归方 法为最小平方残差値法; (5)回归値矩阵:将每一列回归所得之与叠加起 来所得之矩阵; (6)根据回归式代入各条扫描线所回归之与,以 得到除去形貌效应之摩擦力矩阵; (7)消去形貌对摩擦力的影响,剩下的即是材料对摩 擦力的影响,再以此处理过后的摩擦力图来分析并 得到正确的表面材料的分布情形。2.如申请专利 范围第1项所述改善对材料表面作定性分析之方法 ,其中,第(2)项之线上撷取资料之每一条扫描线之 撷取点数乘以1即为矩阵,以1点数来表示。3.如申 请专利范围第1项所述改善对材料表面作定性分析 之方法,其中,第(2)项之扫描后输出系依扫描的条 数与每条扫描线的撷取点制成矩阵,如:共有n条描 线,每条线有P个撷取点,则矩阵以np表示。4.如申 请专利范围第1项所述改善对材料表面作定性分析 之方法,其中,第(3)项之梯度的取法如下:5.如申请 专利范围第1项所述改善对材料表面作定性分析之 方法,其中,如第(5)项之回归値矩阵,若其摩擦力矩 阵与梯度矩阵各为256256,则回归完毕后所得之回 归値矩阵为2562。图式简单说明: 第一图:表面形貌及微结构对摩擦力的影响 第二图:经形貌梯度修正后之FFM摩擦力分布图 第三图:单一底材之表面形貌微结构 第四图:平行扫描方向之梯度分布图 第五图:相应之摩擦力分布图 第六图:利用梯度修正过后之摩擦力分布图 第七图:经氧离子布植后304不锈钢样品剖面之AFM表 面形貌立体图 第八图:经氧离子布植后304不锈钢样品剖面之FFM摩 擦力分布图 第九图:利用辉光放电分析仪之纵、深分析 第十图:斜面测量示意图(一) 第十一图:斜面测量示意图(二) 第十二图:本发明实施流程示意图
地址 台南市东区崇德二街六巷二十五号