主权项 |
1.一种改善对材料表面作定性分析之方法,其步骤 为: (1)得到形貌与摩擦力资料,分为线上撷取与扫描完 成之后并输出; (2)线上撷取之资料,每一条扫描线设为一个矩阵; 扫描完成后之输出,则依扫描的条数与每条扫描线 的撷取点数制成一矩阵; (3)将形貌矩阵以平行扫描方向取其梯度; (4)利用条数与系数(-G),G为梯度矩阵,回归方 法为最小平方残差値法; (5)回归値矩阵:将每一列回归所得之与叠加起 来所得之矩阵; (6)根据回归式代入各条扫描线所回归之与,以 得到除去形貌效应之摩擦力矩阵; (7)消去形貌对摩擦力的影响,剩下的即是材料对摩 擦力的影响,再以此处理过后的摩擦力图来分析并 得到正确的表面材料的分布情形。2.如申请专利 范围第1项所述改善对材料表面作定性分析之方法 ,其中,第(2)项之线上撷取资料之每一条扫描线之 撷取点数乘以1即为矩阵,以1点数来表示。3.如申 请专利范围第1项所述改善对材料表面作定性分析 之方法,其中,第(2)项之扫描后输出系依扫描的条 数与每条扫描线的撷取点制成矩阵,如:共有n条描 线,每条线有P个撷取点,则矩阵以np表示。4.如申 请专利范围第1项所述改善对材料表面作定性分析 之方法,其中,第(3)项之梯度的取法如下:5.如申请 专利范围第1项所述改善对材料表面作定性分析之 方法,其中,如第(5)项之回归値矩阵,若其摩擦力矩 阵与梯度矩阵各为256256,则回归完毕后所得之回 归値矩阵为2562。图式简单说明: 第一图:表面形貌及微结构对摩擦力的影响 第二图:经形貌梯度修正后之FFM摩擦力分布图 第三图:单一底材之表面形貌微结构 第四图:平行扫描方向之梯度分布图 第五图:相应之摩擦力分布图 第六图:利用梯度修正过后之摩擦力分布图 第七图:经氧离子布植后304不锈钢样品剖面之AFM表 面形貌立体图 第八图:经氧离子布植后304不锈钢样品剖面之FFM摩 擦力分布图 第九图:利用辉光放电分析仪之纵、深分析 第十图:斜面测量示意图(一) 第十一图:斜面测量示意图(二) 第十二图:本发明实施流程示意图 |