| 主权项 |
1.一种缺陷检查装置,属于具备支持板状检查对象 物的支持机构,及得到上述检查对象物之摄影画像 的摄影机构,依据藉上述摄影机构所得到之上述摄 影画像来检查上述检查对象物之缺陷的缺陷检查 装置,其特征为: 上述支持机构系具备:配置于上述检查对象物之上 述摄影机构侧之具光透射性的光透射性板构件,及 对于上述检查对象物在与上述光透射性板构件相 反侧平行地配置于上述光透射性板构件的板构件, 及相对地驱动上述光透射性板构件与上述板构件 使上述光透射性板构件与上述板构件之间的距离 成为可变的驱动机构;藉上述光透射性板构件及上 述板构件,以夹持上述检查对象物之状态加以支持 ,而藉上述摄影机构经由上述光透射性板构件摄影 上述检查对象物者。2.如申请专利范围第1项所述 之缺陷检查装置,其中,上述光透射性板构件与上 述摄影机构之位置关系系被固定,且上述驱动机构 系驱动上述板构件而能变更与上述光透射性板构 件之位置关系。3.如申请专利范围第2项所述之缺 陷检查装置,其中,具备藉上述光透射性板构件及 上述板构件在夹持上述检查对象物之状态下,将上 述光透射性板构件及上述板构件作为一体朝板宽 方向移送之移送机构。4.如申请专利范围第3项所 述之缺陷检查装置,其中,上述光透射性板构件及 上述板构件,朝上述移送机构之移送方向具有上述 检查对象物之至少两倍之长度。5.如申请专利范 围第2项所述之缺陷检查装置,其中,关于上述光透 射性板构件及上述板构件,在与上述摄影机构相反 侧具有第二摄影机构,设置平行于上述光透射性板 构件及上述板构件且固定于上述第二摄影机构之 位置关系的第二光透射性板构件,关于上述第二光 透射性板构件,在与上述第二摄影机构相反侧设置 能变更与上述第二光透射性板构件之位置关系的 第二板构件,藉上述第二光透射性板构件及上述第 二板构件以夹持第二检查对象物之状态下加以支 持。6.如申请专利范围第1项或第2项所述之缺陷检 查装置,其中,在上述光透射性板构件及上述板构 件之至少一方,设置用以支持上述检查对象物之缘 部的突出部。7.如申请专利范围第1项或第2项所述 之缺陷检查装置,其中,具有照明支持于上述支持 机构之上述检查对象物的照明机构。8.一种缺陷 检查方法,属于使用摄影机构摄影所支持之板状检 查对象物俾取得上述检查对象物之摄影画像,依据 取得之上述摄影画像来检查上述检查对象物之缺 陷检查方法,其特征为: 在支持上述检查对象物时,藉配置于上述检查对象 物之上述摄影机构侧之具光透射性的光透射性板 构件,及对于上述检查对象物在与上述光透射性板 构件相反侧平行地配置于上述光透射性板构件的 板构件,及相对地驱动上述光透射性板构件与上述 板构件使上述光透射性板构件与上述板构件之间 的距离成为可变的驱动机构;以夹持上述检查对象 物之状态加以支持,而藉上述摄影机构经由上述光 透射性板构件摄影上述检查对象物者。图式简单 说明: 第1图系表示本发明之实施形态的缺陷检查装置之 基本上构成的图式。 第2图系表示说明本发明之实施形态的缺陷检查装 置之检查对象物之移送路径所用的图式。 第3图系表示说明本发明之实施形态的缺陷检查装 置之动作所用的图式。 第4图系表示说明本发明之实施形态的缺陷检查装 置之动作所用之其他例的图式。 第5图系表示本发明之一实施形态的缺陷检查装置 之基本上构成的图式。 第6图系表示说明本发明之一实施例的缺陷检查装 置之检查台部之构成所用的图式。 第7图系表示本发明之其他实施例的缺陷检查装置 之主要部分构成的图式。 第8图系表示习知之缺陷检查装置之概略构成例的 图式。 |
