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发明名称 Halbleitervorrichtung.
摘要
申请公布号 CH693837(A5) 申请公布日期 2004.02.27
申请号 CH19980000733 申请日期 1998.03.27
申请人 MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 TAKEDA MITSUYOSHI;SHISHIDO NOBUYASU;TOMOMATSU YOSHIFUMI
分类号 H01L21/322;H01L21/331;H01L21/336;H01L29/08;H01L29/34;H01L29/739;H01L29/74;H01L29/744;H01L29/745;H01L29/749;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/04 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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