| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR TRANSFERRING AND LOADING A RETICLE WITH A ROBOTIC RETICLE END-EFFECTOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
SG102066(A1) |
申请公布日期 |
2004.02.27 |
| 申请号 |
SG20030000053 |
申请日期 |
2003.01.09 |
| 申请人 |
ASML US, INC. |
发明人 |
GLENN M. FRIEDMAN;PETER KOCHERSPERGER;JOSEPH LAGANZA |
| 分类号 |
B65G49/07;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/677;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
