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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR REMOTELY TESTING SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号 SG102006(A1) 申请公布日期 2004.02.27
申请号 SG20010005909 申请日期 2001.09.27
申请人 SCHLUMBERGER TECHNOLOGIES, INC. 发明人 FREDRICK W. CRIST;TIMOTHY J. WAGNER
分类号 H01L21/66;G01R19/25;G06F17/50;G06F19/00;H01L21/00;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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