| 发明名称 |
Illumination system with a plurality of light sources |
| 摘要 |
There is provided an illumination system for EUV-wavelengths. The illumination system includes a plurality of EUV-light sources and an optical unit combining the plurality of EUV-light sources.
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| 申请公布号 |
US2004036037(A1) |
申请公布日期 |
2004.02.26 |
| 申请号 |
US20030429927 |
申请日期 |
2003.05.05 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG, |
发明人 |
ROTHWEILER DIRK;SCHULTZ JORG |
| 分类号 |
G02B19/00;G02B17/06;G02B27/00;G03F7/20;G21K1/06;G21K5/00;G21K5/04;H01L21/027;(IPC1-7):G21K5/00 |
主分类号 |
G02B19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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