发明名称 Doppelbrechungsmessgerät, Spannungsentfernungseinrichtung, Polarimeter und Belichtungsgerät
摘要 Ein Doppelbrechungsmessgerät zum Berechnen einer Information über die Polarisation von Licht, das von zu einem messenden Objekt ausgegeben wird, hat eine Lichtquelle, ein erstes Polarisationselement für ein Extrahieren eines Strahlbündels in einer spezifischen Polarisationsrichtung von dem von der Lichtquelle ausgegebenen Licht, einen Probentisch, der ein zu messendes Objekt hält, zumindest eine Strahlbündelteileinheit, die das von dem Objekt ausgegebene Licht in zwei Strahlbündel teilt, die die gleiche Polarisation wie das von dem Objekt ausgegebene Licht haben, zumindest zwei zweite Polarisationselemente zum Extrahieren von Strahlbündeln in einer spezifischen Polarisationsrichtung des Lichtes, die durch die Strahlbündelteileinheit geteilt worden sind, zumindest zwei Lichtmengenerfasser für ein Erfassen der Lichtmenge von Strahlbündeln, die durch das zweite Polarisationselement übertragen worden sind, und einen Betriebsteil zum Handhaben einer Lichtmenge, die durch die Lichtmengenerfasser erfasst worden ist.
申请公布号 DE10329360(A1) 申请公布日期 2004.02.26
申请号 DE20031029360 申请日期 2003.06.30
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 KISHIKAWA, YASUHIRO;TAKEUCHI, SEIJI
分类号 G01J4/04;G01N21/23;G03F7/20;(IPC1-7):G01J4/00 主分类号 G01J4/04
代理机构 代理人
主权项
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