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发明名称 PLASMAVORRICHTUNG MIT EINEM MIT EINER SPANNUNGSQUELLE VERBUNDENEN METALLTEIL, DAS ZWISCHEN EINER RF-PLASMA-ANREGUNGSQUELLE UND DEM PLASMA ANGEORDNET IST
摘要
申请公布号 DE69814687(T2) 申请公布日期 2004.02.26
申请号 DE19986014687T 申请日期 1998.12.31
申请人 LAM RESEARCH CORP., FREMONT 发明人 BALDWIN, K.;BARNES, S.;HOLLAND, P.
分类号 H05H1/46;C23C14/34;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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