发明名称 Suspension zum chemisch-mechanischen Polieren mit fluorierten Additiven und Verfahren zur Benutzung dieser Suspension
摘要
申请公布号 DE69724187(T2) 申请公布日期 2004.02.26
申请号 DE19976024187T 申请日期 1997.06.04
申请人 CABOT MICROELECTRONICS CORP., AURORA 发明人 STREINZ, CHRISTOPHER C.;MUELLER, BRIAN L.;LUCARELLI, MICHAEL A.;WALTERS, MAX H.
分类号 B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;C09K13/04;H01L21/304;H01L21/321;H01L21/3213;(IPC1-7):C09G1/02;H01L21/306 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
主权项
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