Strahlführungssystem, Abbildungsverfahren und Elektronenmikroskopiesystem

摘要

Es wird ein Elektronenmikroskopiesystem vorgeschlagen, dessen Objektivlinse (19) ein in einer x-Richtung verlagerbares Feld auf eine feste Strahlachse (17) abbildet. Die Objektivlinse hat eine astigmatische Wirkung, die mit einem Strahlformer (63) auf der festen Achse kompensiert wird. DOLLAR A Ferner werden Linsenkonfigurationen vorgeschlagen, welche selektiv auf den Primärelektronenstrahl oder den Sekundärelektronenstrahl wirken können.