| 发明名称 |
METHOD FOR IN-SITU MONITORING OF PATTERNED SUBSTRATE PROCESSING USING REFLECTOMETRY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003258170(A1) |
申请公布日期 |
2004.02.25 |
| 申请号 |
AU20030258170 |
申请日期 |
2003.08.12 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
VIJAYAKUMAR, C. VENUGOPAL;ANDREW, J. PERRY |
| 分类号 |
G01B11/02;G01B11/06;G01N21/00;G01N21/27;G01N21/45;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/334;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):G01B11/06;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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