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发明名称 METHOD FOR PRODUCING A LAYER WITH A PREDEFINED LAYER THICKNESS PROFILE
摘要
申请公布号 EP1390559(A1) 申请公布日期 2004.02.25
申请号 EP20010962685 申请日期 2001.05.22
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 AIGNER, ROBERT;MARKSTEINER, STEPHAN;NESSLER, WINFRIED;ELBRECHT, LUEDER;TIMME, HANS-JOERG
分类号 H01L41/22;C23C14/58;C23C16/56;H01C17/24;H01L41/09;H01L41/187;H03H3/04;(IPC1-7):C23C14/58;H01J37/305 主分类号 H01L41/22
代理机构 代理人
主权项
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