发明名称 层积型压电部件的制造方法
摘要 本发明提供层积型压电部件的制造方法。能缓和当从主体部分的层积体切断时的切断位置的精度,当切断时不易产生材料损耗,能提高从主体部分的压电基片取得压电部件的个数,外部电极和端子电极的电连接的可靠性卓越。为了使邻接压电部件的端子电极不能通过分离部分电连接而准备好形成激励电极和端子电极的主体部分的压电基片(1),对频率进行调整,在调整频率后,为了在主体部分的压电基片(1)上将遮断邻接的端子电极之间的电连接的分离部分两侧的端子电极(5,5、6,6)和(7,7)电连接起来而形成连接电极(13,14,15),然后,在主体部分的压电基片(1)的上面和下面层积主体部分的外壳基片,在厚度方向切断得到的主体部分的层积体。
申请公布号 CN1477784A 申请公布日期 2004.02.25
申请号 CN03133121.1 申请日期 2003.07.24
申请人 株式会社村田制作所 发明人 米村元秀
分类号 H03H9/15;H03H3/02 主分类号 H03H9/15
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 黄永奎
主权项 1.层积型压电部件的制造方法,该层积型压电部件备有压电基片、在压电基片的至少单面上形成的激励电极、与上述激励电极连接的端子电极的压电元件、层积在压电元件的上下的外壳基片和在由压电元件及上下的外壳基片构成的层积体外表面上形成的、与上述端子电极连接的外部电极,其特征是:为了通过分离部分不电连接邻接的压电部件的端子电极,而准备好形成多个压电部件的上述激励电极和端子电极的主体部分的压电基片的工序、在上述主体部分的压电基片上,对各个压电部件的频率进行调整的工序、为了在上述频率调整后,在上述主体部分的压电基片上将遮断邻接的端子电极的电连接的分离部分两侧的端子电极电连接起来而形成连接电极的工序、在形成上述连接电极后,在主体部分的压电基片的上面和下面层积主体部分的外壳基片,得到主体部分的层积体的工序、在厚度方向切断上述主体部分的层积体,得到各个压电部件单位的层积体的工序、和在上述层积体的外表面形成与上述端子电极电连接的外部电极的工序。
地址 日本京都府