| 发明名称 | 光纤端面微细加工方法 | ||
| 摘要 | 光纤端面微细加工方法属于微细加工技术领域。本发明具体方法如下：(1)在光纤端面喷涂光刻胶形成均匀光刻胶层；(2)将光纤端面前烘；(3)将光纤端面导入带自对准的掩膜板微孔，对光刻胶进行曝光，显影，并进行后烘；(4)以光刻胶为掩膜对光纤端面进行刻蚀，得到所需的光纤端面形状和结构。本发明采用带自对准的掩膜板解决了光纤端面加工技术难，对准程度低的问题，实现对光纤端面进行任意形状和结构的加工。 | ||
| 申请公布号 | CN1139824C | 申请公布日期 | 2004.02.25 |
| 申请号 | CN02111917.1 | 申请日期 | 2002.06.03 |
| 申请人 | 上海交通大学 | 发明人 | 李以贵;贾书海;王宏坤 |
| 分类号 | G02B6/136;C03C25/68 | 主分类号 | G02B6/136 |
| 代理机构 | 上海交达专利事务所 | 代理人 | 王锡麟 |
| 主权项 | 1、一种光纤端面微细加工方法，其特征在于具体方法如下：(1)在光纤端面喷涂光刻胶形成均匀光刻胶层；(2)将光纤端面前烘；(3)将光纤端面导入带自对准的掩膜板微孔，对光刻胶进行曝光，显影，并进行后烘；(4)以光刻胶为掩膜对光纤端面进行刻蚀，得到所需的光纤端面形状和结构。 | ||
| 地址 | 200030上海市华山路1954号 | ||