发明名称 Multi-axis interferometer
摘要
申请公布号 GB0401480(D0) 申请公布日期 2004.02.25
申请号 GB20040001480 申请日期 2004.01.23
申请人 AGILENT TECHNOLOGIES INC 发明人
分类号 G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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