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发明名称 A method and a device for detecting micro-scratches
摘要
申请公布号 GB2353592(B) 申请公布日期 2004.02.25
申请号 GB20000019869 申请日期 2000.08.11
申请人 * SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHUNG-SAM * JUN;SANG-MUN * CHON;SANG-BONG * CHOI;HYUNG-SUK * CHO;PIL-SIK * HYUN;KYU-HONG * LIM;BYUNG-AM * LEE
分类号 G01N21/956;G01N21/21;H01L21/304;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/956
代理机构 代理人
主权项
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