热驱动微机械光纤开关及其制造方法

摘要

热驱动微机械光纤开关及其制造方法是一种用于数字光纤通信网络中对光纤信号进行阻断和转换的装置，在固定光纤的硅板的表面上设有4条相互之间呈交叉，垂直的光纤。在槽中设有光纤，在固定光纤的硅板设有一凹坑，反射镜位于该凹坑中，其镜面两侧分别与4根光纤成45度角，反射镜固定在悬臂梁的一端，悬臂梁的另一端连接在固定光纤的硅板上，压紧光纤的硅板为方框状压在固定光纤的硅板上，制造方法为；硅片背面进行深槽腐蚀；第二次进行硅片背面腐蚀使悬臂梁部分的硅膜减至20～30微米厚；生长绝缘膜及用于制造加热电阻的金属膜；刻蚀出电阻条形状；光刻形成带有微反射镜的悬臂梁结构及光纤定位槽图形；正面硅腐蚀形成光纤定位槽，微反射镜及悬臂梁结构部分。

主权项

1、一种热驱动微机械光纤开关，其特征在于该光纤开关由固定光纤的硅板(1)、压紧光纤的硅板(2)、微反射镜(3)、悬臂梁(4)、光纤(5)和加热电阻(6)所组成，在固定光纤的硅板(1)的表面上设有4条相互之间呈十字交叉，相邻垂直的光纤槽(11)，在槽中设有光纤(5)，在固定光纤的硅板(1)中央设有一凹坑(12)，反射镜(3)位于该凹坑(12)中，其镜面两侧分别与4根光纤(5)成45度角，反射镜(3)固定在悬臂梁(4)的一端，悬臂梁(4)的另一端连接在固定光纤的硅板(1)上，压紧光纤的硅板(2)为方框状压在固定光纤的硅板(1)上，使光纤(5)固定住，加热电阻(6)做在悬臂梁(4)表面。