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发明名称 Oxygen free plasma stripping process
摘要
申请公布号 EP1077476(A3) 申请公布日期 2004.02.25
申请号 EP20000306624 申请日期 2000.08.03
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 HAN, QINGYUAN;DAHIMENE, MAHMOUD;RUFFIN, RICKY;PALANIKUMARAN, SAKTHIVEL;BERRY, IVAN LOUIS, III
分类号 H01L21/302;G03F7/42;H01L21/02;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/311;H01L21/321;H01J37/32 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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