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发明名称
摘要
申请公布号	JP3500837(B2)	申请公布日期	2004.02.23
申请号	JP19960052769	申请日期	1996.03.11
申请人		发明人
分类号	C23C30/00;H01B7/08;H01B13/00;(IPC1-7):H01B7/08	主分类号	C23C30/00
代理机构		代理人
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