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发明名称 PROCESS FOR REDUCING DISHING AND EROSION DURING CHEMICAL MECHANICAL PLANARIZATION
摘要
申请公布号 AU2003257147(A1) 申请公布日期 2004.02.23
申请号 AU20030257147 申请日期 2003.08.01
申请人 PPG INDUSTRIES OHIO, INC. 发明人 ROBERT L. AUGER;STUART D. HELLRING;YUZHUO LI
分类号 C09G1/02;H01L21/02;H01L21/321;(IPC1-7):C09G1/02;B24B1/00 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
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