| 主权项 |
1.一种机能液滴吐出喷头之液体填充方法,于在具有开设在喷头本体的喷嘴形成面的吐出喷嘴的机能液滴吐出喷头的喷头内流路填充液体之方法,于令连接在吸引帮浦的盖体密贴在前述喷嘴形成面,将连接在前述机能液滴吐出喷头的给液槽内的液体利用介着前述盖体所作用的吸引力填充到前述喷头内流路者中,其特征为:在前述喷头内流路的液体填充途中依然继续利用前述盖体的吸引暂时闭锁前述机能液滴吐出喷头和前述给液槽之间的给液通路。2.如申请专利范围第1项所记载的机能液滴吐出喷头之液体填充方法,其中,前述给液通路的闭锁是前述给液槽内的液体至少吸引到前述盖体的时候所实行。3.一种吐出装置,乃属于具备有针对工件做相对移动的托架,令具有开设在喷头本体的喷嘴形成面的吐出喷嘴的机能液滴吐出喷头保持在前述托架,在此状态一边令前述托架针对工件做相对移动一边自前述机能液滴吐出喷头的吐出喷嘴向着工件吐出液滴之吐出装置,其特征为:在具备有连接在前述机能液滴吐出喷头的给液槽、和配置在离开工件之场所的盖体单元,在盖体单元将连接在吸引帮浦的盖体对应前述机能液滴吐出喷头而加以设置,在令前述托架移动到临近前述盖体单元的位置的状态使前述盖体密贴于前述机能液滴吐出喷头的喷嘴形成面,将前述给暇液槽内的液体利用介着前述盖体所作用的吸引力填充到前述机能液滴吐出喷头的喷头内流路中,在前述机能液滴吐出喷头和前述给液槽之间的给液通路介设开关阀,且依然在前述喷头内流路的液体填充途中继续利用前述盖体的吸引,暂时将前述开关阀加以闭阀。4.如申请专利范围第3项所记载之吐出装置,其中,在前述盖体和前述吸引帮浦之间的吸引通路设置液体感知器,开始对前述喷头内流路填充液体后,藉由前述液体感知器检测液体的时候,进行前述开关阀的暂时闭阀。5.如申请专利范围第4项所记载的吐出装置,其中,前述托架是具备有由副托架和搭载在该副托架的复数个前述机能液滴吐出喷头所构成的喷头单元,同时将前述盖体对应前述喷头单元时复数个机能液滴吐出喷头而设置复数个,于分歧连接在前述各机能液滴吐出喷头的前述给液路的各分歧通路部分个别介设前述开关阀,同时于分歧连接在前述各盖体的前述吸引通路的各分歧通路部分个别设置前述液体感知器,当用各液体感知器检测液体时即将对应的各开关阀加以闭阀。6.如申请专利范围第3项所记载的吐出装置,其中,在与前述托架一体动作的部分搭载前述开关阀。7.一种液晶显示装置之制造方法,乃属于使用申请专利范围第3项所记载的吐出装置,在彩色滤色片的基板上形成滤色片元件的液晶显示装置之制造方法,其特征为:在前述机能液滴吐出喷头导入滤色片材料,将前述机能液滴吐出喷头针对前述基板做相对性扫描,选择性吐出前述滤色片材料,形成前述滤色片元件。8.一种有机电激发光装置之制造方法,乃属于申请专利范围第3项所记载的吐出装置,在基板上的画素点素形成电激发光层的有机电激发光装置之制造方法,其特征为:在前述机能液滴吐出喷头导入发光材料,将前述机能液滴吐出喷头针对前述基板做相对性扫描,选择性吐出前述发光材料,形成前述电激发光层。9.一种电子放出装置之制造方法,乃属于使用申请专利范围第3项所记载的吐出装置,在电极上形成萤光体的电子放出装置之制造方法,其特征为:在前述机能液滴吐出喷头导入萤光材料,将前述复数个机能液滴吐出喷头针对前述电极做相对性扫描,选择性吐出前述萤光材料,形成前述萤光体。10.一种电浆显示装置之制造方法,乃属于使用申请专利范围第3项所记载的吐出装置,在背面基板上的凹部形成萤光体的电浆显示装置之制造方法,其特征为:在前述机能液滴吐出喷头导入萤光材料,将前述机能液滴吐出喷头针对前述背面基板做相对性扫描,选择性吐出前述萤光材料,形成前述萤光体。11.一种电泳显示装置之制造方法,乃属于使用申请专利范围第3项所记载的吐出装置,在电极上的凹部形成泳动体的电泳显示装置之制造方法,其特征为:在前述机能液滴吐出喷头导入泳动体材料,将前述机能液滴吐出喷头针对前述电极做相对性扫描,选择性吐出前述泳动体材料,形成前述泳动体。12.一种彩色滤色片之制造方法,乃属于使用申请专利范围第3项所记载的吐出装置,制造在基板上配列滤色片元件而形成的彩色滤色片的彩色滤色片之制造方法,其特征为:在前述机能液滴吐出喷头导入滤色片材料,将前述机能液滴吐出喷头针对前述基板做相对性扫描,选择性吐出前述滤色片材料,形成前述滤色片元件。13.如申请专利范围第12项所记载的彩色滤色片之制造方法,其中,形成被覆前述滤色片元件的被覆膜,于形成前述滤色片元件后,在前述机能液滴吐出喷头导入透光性的涂布材料,将前述机能液滴吐出喷头针对前述基板做相对性扫描,选择性吐出前述涂布材料,形成前述被覆膜。14.一种有机电激发光元件之制造方法,乃属于使用申请专利范围第3项所记载的吐出装置,在基板上配列包括电激发光层的画素点素所形成的有机电激发光元件之制造方法,其特征为:在前述机能液滴吐出喷头导入发光材料,将前述机能液滴吐出喷头针对前述基板做相对性扫描,选择性吐出前述发光材料,形成前述电激发光层。15.如申请专利范围第14项所记载的有机电激发光元件之制造方法,其中,在前述电激发光层和前述基板之间,对应前述电激发光度形成画素电极,在前述机能液滴吐出喷头导入液状电极材料,将前述机能液滴吐出喷头针对前述基板做相对性扫描,选择性吐出前述液状电极材料,形成前述画素电极。16.如申请专利范围第15项所记载的有机电激发光元件之制造方法,其中,以覆盖前述电激发光层地形成对向电极,于形成前述电激发光层后,对前述机能液滴吐出喷头导入液状电极材料,将前述机能液滴吐出喷头针对前述基板做相对性扫描,选择性吐出前述液状电极材料,形成前述对向电极。17.一种间隔物形成方法,乃属于使用申请专利范围第3项所记载的吐出装置,在两枚基板间构成单元空隙,形成粒子状间隔物的间隔物形成方法,其特征为:在前述机能液滴吐出喷头导入构成间隔物的粒子材料,将前述机能液滴吐出喷头至少针对一方的前述基板做相对性扫描,选择性吐出前述粒子材料,在前述基板上形成前述间隔物。18.一种金属配线形成方法,乃属于使用申请专利范围第3项所记载的吐出装置,在基板上形成金属配线的金属配线形成方法,其特征为:在前述机能液滴吐出喷头导入液状金属材料,将前述机能液滴吐出喷头针对前述基板做相对性扫描,选择性吐出前述液状金属材料,形成前述金属配线。19.一种透镜形成方法,乃属于使用申请专利范围第3项所记载的吐出装置,在基板上形成微透镜的透镜形成方法,其特征为:在前述机能液滴吐出喷头导入透镜材料,将前述机能液滴吐出喷头针对前述基板做相对性扫描,选择性吐出前述透镜材料,形成前述微透镜。20.一种光阻剂形成方法,乃属于使用申请专利范围第3项所记载的吐出装置,在基板上形成任意形状光阻剂的光阻剂形成方,其特征为:在前述机能液滴吐出喷头导入光阻剂材料,将前述机能液滴吐出喷头针对前述基板做相对性扫描,选择性吐出前述光阻剂材料,形成前述光阻剂。21.一种光扩散体形成方法,乃属于使用申请专利范围第3项所记载的吐出装置,在基板上形成光扩散体的光扩散体形成方法,其特征为:在前述机能液滴吐出喷头导入光扩散材料,将前述机能液滴吐出喷头针对前述基板做相对性扫描,选择性吐出前述光扩散材料,形成前述光扩散体。图式简单说明:第1图是有关实施形态的有机电激发光装置之制造方法的储料部形成工程(无机物储料)的断面图。第2图是有关实施形态的有机电激发光装置之制造方法的储料部形成工程(有机物储料)的断面图。第3图是有关实施形态的有机电激发光装置之制造方法的电浆处理工程(亲水化处理)的断面图。第4图是有关实施形态的有机电激发光装置之制造方法的电浆处理工程(拨水化处理)的断面图。第5图是有关实施形态的有机电激发光装置之制造方法的正孔注入层形成工程(液滴吐出)的断面图。第6图是有关实施形态的有机电激发光装置之制造方法的正孔注入层形成工程(乾燥)的断面图。第7图是有关实施形态的有机电激发光装置之制造方法的表面改质工程(液滴吐出)的断面图。第8图是有关实施形态的有机电激发光装置之制造方法的表面改质工程(乾燥)的断面图。第9图是有关实施形态的有机电激发光装置之制造方法的B发光层形成工程(液滴吐出)的断面图。第10图是有关实施形态的有机电激发光装置之制造方法的B发光层形成工程(乾燥)的断面图。第11图是有关实施形态的有机电激发光装置之制造方法的R、G、B发光层形成工程的断面图。第12图是有关实施形态的有机电激发光装置之制造方法的对向电极形成工程的断面图。第13图是有关实施形态的有机电激发光装置之制造方法的密封工程的断面图。第14图是有关实施形态的正孔注入层形成设备的概念图。第15图是有关实施形态的发光层形成设备的概念图。第16图是有关实施形态的吐出装置的外观立体图。第17图是有关实施形态的吐出装置的外观正面图。第18图是有关实施形态的吐出装置的外观侧面图。第19图是有关实施形态的吐出装置的外观平面图。第20图是有关实施形态的吐出装置的液滴吐出装置的模式图。第21图是有关实施形态的喷头单元的平面图。第22图是有关实施形态的喷头单元的侧面图。第23图是有关实施形态的喷头单元的正面图。第24图(a)是有关实施形态的喷头单元的配管接头的外观立体图、(b)配管接头的断面图。第25图(a)是有关实施形态的机能液滴吐出喷头的外观立体图、(b)机能液滴吐出喷头的断面图。第26图是有关实施形态的液滴吐出装置的石定盘旋转的侧面图。第27图是有关实施形态的液滴吐出装置的石定盘旋转的平面图。第28图是有关实施形态的液滴吐出装置的石定盘旋转的正面图。第29图是表示有关实施形态的液滴吐出装置的石定盘的支撑形态的模式图。第30图是有关实施形态的液滴吐出装置的X轴台的平面图。第31图是有关实施形态的液滴吐出装置的X轴台的侧面图。第32图是有关实施形态的液滴吐出装置的X轴台的正面图。第33图是有关实施形态的液滴吐出装置的主基板辨识相机旋转的立体图。第34图是有关实施形态的液滴吐出装置的Y轴台的平面图。第35图是有关实施形态的液滴吐出装置的Y轴台的侧面图。第36图是有关实施形态的液滴吐出装置的Y轴台的正面图。第37图是有关实施形态的Y轴台的主托架的立体图。第38图是有关实施形态的Y轴台的主托架的平面图。第39图是有关实施形态的液滴吐出装置的共同机台的立体图。第40图是有关取出实施形态的液滴吐出装置的共同底座的共同机台的立体图。第41图是有关实施形态的液滴吐出装置的共同机台的侧面图。第42图是有关实施形态的液滴吐出装置的共同机台的平面图。第43图是有关实施形态的液滴吐出装置之液体供给回收装置的配管系统图。第44图是有关实施形态的液体供给回收装置的帮浦群旋转的立体图。第45图是有关实施形态的液体供给回收装置的帮浦群旋转的平面图。第46图是有关实施形态的液体供给回收装置的废液帮浦旋转的立体图。第47图是有关实施形态的液体供给回收装置的给液槽的立体图。第48图是有关实施形态的液体供给回收装置的给液槽的侧面图。第49图是有关实施形态的液体供给回收装置的给液槽的正面图。第50图是有关实施形态的擦拭单元的卷取单元的立体图。第51图是有关实施形态的擦拭单元的卷取单元的平面图。第52图是有关实施形态的擦拭单元的卷取单元的正面图。第53图是有关实施形态的擦拭单元的拭取单元的立体图。第54图是有关实施形态的擦拭单元的拭取单元的平面图。第55图是有关实施形态的擦拭单元的拭取单元的正面图。第56图是表示擦拭单元动作的模式图。第57图是有关实施形态的清洗单元的外观立体图。第58图是有关实施形态的清洗单元的正面图。第59图是有关实施形态的清洗单元的侧面图。第60图是有关实施形态的清洗单元的平面图。第61图是清洗单元的盖体的放大断面图。第62图是有关实施形态的喷洒单元的立体图。第63图是有关实施形态的喷洒单元的平面图。第64图是有关实施形态的给液通路中的开关阀的配置部的立体图。第65图是有关实施形态的给液通路中的开关阀的配置部的侧面图。 |
