发明名称
摘要 A structure comprising a trench having a liner with rounded corners in the top and bottom of the trench is obtained by rapid thermal oxidation.
申请公布号 KR100419689(B1) 申请公布日期 2004.02.21
申请号 KR20010078441 申请日期 2001.12.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/76;H01L21/316;H01L21/762 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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