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发明名称 POLIERVERFAHREN
摘要
申请公布号 DE69532458(D1) 申请公布日期 2004.02.19
申请号 DE1995632458 申请日期 1995.09.13
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 MORIYAMA, SIGEO;YAMAGUCHI, KATSUHIKO;HOMMA, YOSHIO;MATSUBARA, SUNAO;ISHIDA, YOSHIHIRO;KAWA-AI, RYOUSEI
分类号 B24B27/00;B24D3/00;B24D3/28;B24D13/14;H01L21/3105;(IPC1-7):H01L21/304;B24D7/00;C07C39/04;B24D3/32 主分类号 B24B27/00
代理机构 代理人
主权项
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