| 发明名称 |
Vorrichtung und Verfahren zur lichtinduzierten chemischen Behandlung eines Werkstücks |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10206687(B4) |
申请公布日期 |
2004.02.19 |
| 申请号 |
DE20021006687 |
申请日期 |
2002.02.18 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
KROENER, FRIEDRICH DR.;WISTRELA, ROBERT |
| 分类号 |
C25F3/12;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/306;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/306;B81C1/00;B81B1/00 |
主分类号 |
C25F3/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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