Elekrostatische Linse mit Beschleunigung und Abbremsung zur variablen Fokussierung und Massenauflösung eines Ionenstrahls in einer Ionenimplantationsanlage
摘要
申请公布号
DE69821048(D1)
申请公布日期
2004.02.19
申请号
DE19986021048
申请日期
1998.04.24
申请人
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
发明人
BENVENISTE, VICTOR MAURICE;KELLERMAN, PETER LAWRENCE
