发明名称 Bürste zum Reinigen von Halbleiterscheiben
摘要
申请公布号 DE69811763(T2) 申请公布日期 2004.02.19
申请号 DE19986011763T 申请日期 1998.04.16
申请人 INTERGRATED PROCESS EQUIPMENT CORP., PHOENIX 发明人 CHOFFAT, CHRISTOPHER C.;GRIFFIN, JUSTIN J.
分类号 B08B1/04;B24D9/08;B24D13/14;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):B08B1/04 主分类号 B08B1/04
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利