| 发明名称 |
Mustererzeugung in der Herstellung von mikroelektronischen Anordnungen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69531472(T2) |
申请公布日期 |
2004.02.19 |
| 申请号 |
DE1995631472T |
申请日期 |
1995.05.31 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS |
发明人 |
MOSLEHI, MEHRDAD M. |
| 分类号 |
G03F1/08;G03F7/004;G03F7/26;G03F7/36;G03F7/38;G03F7/40;H01L21/027;H01L21/033;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/3105;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/033;H01L21/321;G03F7/00 |
主分类号 |
G03F1/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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