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发明名称 Substrate holding apparatus and exposure apparatus
摘要
申请公布号 EP1280188(A3) 申请公布日期 2004.02.18
申请号 EP20020255196 申请日期 2002.07.25
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 TOKITA, TOSHINOBU
分类号 G03F7/20;G03F9/00;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/68 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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