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发明名称 Apparatus and method for washing treatment
摘要
申请公布号 EP0753884(B1) 申请公布日期 2004.02.18
申请号 EP19960110307 申请日期 1996.06.26
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 AKIMOTO,MASAMI
分类号 H01L21/304;B08B3/02;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00;B08B3/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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