METHOD FOR THE PRODUCTION OF AN INTEGRATED CIRCUIT,申请号KR20037014172-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR THE PRODUCTION OF AN INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号	KR20040015210(A)	申请公布日期	2004.02.18
申请号	KR20037014172	申请日期	2003.10.30
申请人		发明人
分类号	H01L21/82;H01L21/283;H01L21/302;H01L21/461;H01L21/4763;H01L21/60;H01L21/768;H01L21/822;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L21/8247;H01L27/115	主分类号	H01L21/82
代理机构		代理人
主权项
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