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发明名称 Fabrication of integrated tunable/switchable passive microwave and millimeter wave modules
摘要
申请公布号 EP1251577(A3) 申请公布日期 2004.02.18
申请号 EP20020076528 申请日期 2002.04.18
申请人 INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW 发明人 TILMANS, HENDRIKUS;BEYNE, ERIC;JANSEN, HENRI;DE RAEDT, WALTER
分类号 H01H59/00;H01L21/84;H01L27/12;H01P1/12;(IPC1-7):H01P1/12 主分类号 H01H59/00
代理机构 代理人
主权项
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