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发明名称 Corpuscular radiation system
摘要
申请公布号 CZ20032493(A3) 申请公布日期 2004.02.18
申请号 CZ20030002493 申请日期 2002.02.14
申请人 LEO ELEKTRONENMIKROSKOPIE GMBH 发明人 ROSE HARALD;PREIKSZAS DIRK;HARTEL PETER
分类号 H01J37/153;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/05 主分类号 H01J37/153
代理机构 代理人
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