薄膜制造装置

摘要

本发明能够有效、准确地对薄膜厚度进行控制。利用涂布部4在承载膜3上涂布浆液状原料，在用干燥部6对浆液状原料进行干燥前，利用特性测定部5在湿的状态下对与浆液状原料的厚度有关的特定的特性进行测定。运算部7a由目标薄膜厚度、浆液状原料的特性测定值和浆液状原料的比重计算出薄膜厚度的预计值t，并与薄膜厚度的目标值T相比较。调节输出部7b根据上述比较结果，将厚度调节信号输出至上述厚度调节装置9，对承载膜3上的浆液状原料的涂布厚度进行调节。

主权项

1.薄膜制造装置，其特征在于，具有涂布部，其作用是在沿设定路线传送的承载膜上涂布形成薄膜的浆液状原料；厚度调节装置，其作用是调节上述承载膜上的上述浆液状原料的涂布厚度；干燥部，其作用是干燥上述承载膜上的浆液状原料形成薄膜；特性测定部，其作用是在上述干燥部干燥前的湿的状态下测定与上述承载膜上的浆液状原料的厚度相关的特定的特性；存储部，其作用是存储表示上述承载膜上的浆液状原料的上述特性的测定值、浆液状原料的比重及浆液状原料经干燥后得到的薄膜的厚度的关系的数据；运算部，其作用是根据上述存储部存储的数据，由薄膜的目标厚度、上述特性测定部测定的浆液状原料的上述特性的测定值和浆液状原料的比重计算出上述薄膜厚度的预计值，并与薄膜厚度的目标值相比较；调节输出部，其作用是根据上述运算部得到的比较结果，将厚度调节信号输出至上述厚度调节装置。