用于诸如晶圆之基体的定量品质检验方法与装置

摘要

一种定量评估基体之方法，基体例如为晶圆界定复数个循序第一区，让各第一区叠置毗邻第二区。各第一区之表面资料(例如厚度资料)用于决定表示第一区之表面组态(例如厚度变化)之法线向量。然后对毗邻两个第一区之组合个别测定法线向量间之角差异。随后测得之角差异比较参考值，来评估第二区之品质，第二区包括第一区中之至少一者例如晶片区、带状区及／或晶圆全区。