无扩展空间相干性之雷射光束扩展的系统及方法

摘要

一种扩展射出自一雷射光束之光线而不改变空间相干性或产生斑点之系统及方法。此系统包含一雷射源及一具有多工装置之光学投射系统。多工装置将雷射源所射出之光扩展为多数具有强度约彼此相等之光束而不改变空间相干性。多工装置具有多数空间分离的光束分裂器，其被设置于且平行于一镜子之相同侧上。此系统进一步包含一照明光学系统，其聚集每一多数光束、及一投射光学系统，其将一以输出自照明光学系统之光线所照射之遮罩的影像投射至一基底上。