用于电浆反应室而具有减少金属杂质浓度之矽部件

摘要

本发明揭示一种半导体处理装置之矽部件，其包含在矽中具有高迁移性之低含量金属杂质。该等矽部件可包括环圈、电极及电极组件，其能够减少电浆环境中所处理晶圆之金属杂质。