| 摘要 |
本发明系提供一种电解研磨装置，系使随着电解研磨的进行，在晶圆面内局部产生的电流难以流动之部分消失，谋求形成沟配线或穿孔时，不易产生因过度研磨使金属部分后退。该电解研磨装置系在与被加工基板51相对向的位置上具备有对向电极11，对向电极11系由以同心圆状配置的复数个电极11a至11e所构成，各电极11a至11e系具有可独立控制之电力供给源13，检测出各电极11a至11e与被加工基板51之间的电流或电压的变化之检测器（未图示）；及依据该检测器所检测的电流或电压之变化，控制供给至各电极11a至11e的电力之控制器15。 |
