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发明名称
摘要
申请公布号	JP3496648(B2)	申请公布日期	2004.02.16
申请号	JP20010051096	申请日期	2001.02.26
申请人		发明人
分类号	H01L21/331;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8234;H01L21/8249;H01L27/04;H01L27/06;H01L29/73;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/823	主分类号	H01L21/331
代理机构		代理人
主权项
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