| 发明名称 |
INDUCTIVELY COUPLED PLASMA GENERATOR HAVING LOWER ASPECT RATIO |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU2002313941(A1) |
申请公布日期 |
2004.02.16 |
| 申请号 |
AU20020313941 |
申请日期 |
2002.07.26 |
| 申请人 |
PLASMART CO. LTD. |
发明人 |
YOUNG KWAN LEE;WON BONG JUNG;SANG WON LEE;SAE HOON UHM;DONG SEOK LEE |
| 分类号 |
H01J7/24;H01J37/32;H01L21/3065;H05H1/24;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/24 |
主分类号 |
H01J7/24 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
