| 发明名称 |
DUAL CHAMBER INTEGRATED PHASE SEPARATOR FOR ULTRA HIGH VACUUM SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003256949(A1) |
申请公布日期 |
2004.02.16 |
| 申请号 |
AU20030256949 |
申请日期 |
2003.07.29 |
| 申请人 |
VEECO INSTRUMENTS INC. |
发明人 |
SCOTT, WAYNE PRIDDY;PAUL, E. COLOMBO |
| 分类号 |
C30B23/02;C30B23/06;F04B37/08;(IPC1-7):C30B23/02 |
主分类号 |
C30B23/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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