发明名称 METHOD FOR AUTOMATICALLY FOCUSING AN ELECTRON MICROSCOPE BY USING THE TESTED OBJECT IMAGE
摘要
申请公布号 UA64570(A) 申请公布日期 2004.02.16
申请号 UA20030065957 申请日期 2003.06.26
申请人 SUMY STATE UNIVERSITY 发明人 KRASNOPOIASOVSKYI ANATOLII STEPANOVYCH;SKAKOVSKA ALLA MYKOLAIVNA;KOZYNETS MYKHAILO VOLODYMYROVYCH;SHELEKHOV IGOR VOLODYMYROVYCH
分类号 H01J37/21;(IPC1-7):H01J37/21 主分类号 H01J37/21
代理机构 代理人
主权项
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