发明名称 |
METHOD FOR AUTOMATICALLY FOCUSING AN ELECTRON MICROSCOPE BY USING THE TESTED OBJECT IMAGE |
摘要 |
|
申请公布号 |
UA64570(A) |
申请公布日期 |
2004.02.16 |
申请号 |
UA20030065957 |
申请日期 |
2003.06.26 |
申请人 |
SUMY STATE UNIVERSITY |
发明人 |
KRASNOPOIASOVSKYI ANATOLII STEPANOVYCH;SKAKOVSKA ALLA MYKOLAIVNA;KOZYNETS MYKHAILO VOLODYMYROVYCH;SHELEKHOV IGOR VOLODYMYROVYCH |
分类号 |
H01J37/21;(IPC1-7):H01J37/21 |
主分类号 |
H01J37/21 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|