发明名称 Apparatus and method for non-destructive inspection on a patterned surface
摘要
申请公布号 AU2003261207(A8) 申请公布日期 2004.02.16
申请号 AU20030261207 申请日期 2003.07.21
申请人 APPLIED MATERIALS, INC.;APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD. 发明人 AVISHAY GUETTA;DORON SHOHAM;GILAD ALMOGY;RON NAFTALI
分类号 G01N21/95;(IPC1-7):G01N21/95;G01N21/956 主分类号 G01N21/95
代理机构 代理人
主权项
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